Hybrid metrology for microscopy of nanoparticles
- This presentation is structured in two parts: i) Hybrid metrology by combining SEM with AFM (N. Feltin) and ii) hybridization and corelative microscopy by SEM, STEM-in-SEM, TEM, EDS, Auger Electron Microscopy, TKD and more (D. Hodoroaba). The first part is focused on the metrological part of the hybrid measurement SEM-AFM, the second part offers some further possibilities of correlative microscopy of nanoparticles based on practical examples.
Autor*innen: | Vasile-Dan HodoroabaORCiD, N. Feltin |
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Dokumenttyp: | Vortrag |
Veröffentlichungsform: | Präsentation |
Sprache: | Englisch |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2020 |
Organisationseinheit der BAM: | 6 Materialchemie |
6 Materialchemie / 6.1 Oberflächen- und Dünnschichtanalyse | |
DDC-Klassifikation: | Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie / Analytische Chemie |
Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften / Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten | |
Freie Schlagwörter: | AFM; Correlative imaging; Metrology; Nanoparticles; Particle size distribution; SEM; STEM-in-SEM (TSEM) |
Themenfelder/Aktivitätsfelder der BAM: | Chemie und Prozesstechnik |
Material | |
Material / Nano | |
Veranstaltung: | EMPIR nPSize Training Course "Metrology for Measurement of Nanoparticle Size by Electron Microscopy and Atomic Force Microscopy" |
Veranstaltungsort: | Online meeting |
Beginndatum der Veranstaltung: | 27.10.2020 |
Enddatum der Veranstaltung: | 27.10.2020 |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access") |
Datum der Freischaltung: | 29.10.2020 |
Referierte Publikation: | Nein |
Eingeladener Vortrag: | Nein |