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A differential backside laserprobing technique for the investigation of the lateral temperature distribution in power devices

Metadaten
Verfasserangaben:C. Fürböck, R. Thalhammer, M. Litzenberger, Norbert SeligerORCiD, D. Pogany, E. Gornik, G. Wachutka
DOI:https://doi.org/10.1109/ISPSD.1999.764095
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):11th International Symposium on Power Semiconductor Devices and ICs. ISPSD’99 Proceedings
Verlag:IEEE
Dokumentart:Konferenzveröffentlichung
Sprache:Englisch
Erscheinungsjahr:1999
Freies Schlagwort / Tag:backside laserprobing
Erste Seite:193
Letzte Seite:196
Peer reviewed:Ja
Fakultäten / Organisationseinheiten:Fakultät für Ingenieurwissenschaften
DDC-Klassifikation:6 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / 60 Technik / 600 Technik, Technologie