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Application of imaging ellipsometry and white light interference microscopy for detection of defects in epitaxially grown 4H-SiC layers
- Critical defects, also known as device killers, in wide bandgap semiconductors significantly affect the performance of power electronic devices. We used the methods imaging ellipsometry (IE) and white light interference microscopy (WLIM) in a hybrid optical metrology study for fast and non-destructive detection, classification, and characterisation of defects in 4H–SiC homoepitaxial layers on 4H–SiC substrates. Ellipsometry measurement results are confirmed by WLIM. They can be successfully applied for wafer characterisation already during production of SiC epilayers and for subsequent industrial quality control.
Autor*innen: | Elena Ermilova, Matthias Weise, Andreas HertwigORCiD |
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Dokumenttyp: | Zeitschriftenartikel |
Veröffentlichungsform: | Verlagsliteratur |
Sprache: | Englisch |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Journal of the European Optical Society-Rapid Publications |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2023 |
Organisationseinheit der BAM: | 6 Materialchemie |
6 Materialchemie / 6.1 Oberflächen- und Dünnschichtanalyse | |
Veröffentlichende Institution: | Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung (BAM) |
Verlag: | EDP Sciences |
Jahrgang/Band: | 19 |
Ausgabe/Heft: | 1 |
Aufsatznummer: | 23 |
Erste Seite: | 1 |
Letzte Seite: | 8 |
DDC-Klassifikation: | Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie / Analytische Chemie |
Freie Schlagwörter: | 4H–SiC; Defects; Imaging ellipsometry; White light interference microscopy |
Themenfelder/Aktivitätsfelder der BAM: | Chemie und Prozesstechnik |
Veranstaltung: | EOS Annual Meeting (EOSAM 2022) |
Veranstaltungsort: | Porto |
Beginndatum der Veranstaltung: | 12.09.2022 |
Enddatum der Veranstaltung: | 16.09.2022 |
DOI: | 10.1051/jeos/2023018 |
URN: | urn:nbn:de:kobv:b43-574209 |
ISSN: | 1990-2573 |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Datei für die Öffentlichkeit verfügbar ("Open Access") |
Lizenz (Deutsch): | Creative Commons - CC BY - Namensnennung 4.0 International |
Datum der Freischaltung: | 08.05.2023 |
Referierte Publikation: | Ja |
Datum der Eintragung als referierte Publikation: | 12.06.2023 |
Schriftenreihen ohne Nummerierung: | Wissenschaftliche Artikel der BAM |