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BioPIC - Integration of Biosensors based on Photonic Integrated Circuits by Local-Backside Etching

  • Silicon photonic sensors are promising candidates for lab-on-a-chip solutions with versatile applications and scalable production prospects using complementary metal-oxide semiconductor (CMOS) fabrication methods. However, the widespread use has been hindered because the sensing area adjoins optical and electrical components making packaging and sensor handling challenging. In this work, a local back-side release of the photonic sensor is employed, enabling a separation of the sensing area from the rest of the chip. This approach allows preserving the compatibility of photonic integrated circuits in the front-end of line and metal interconnects in the back-end of line.

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Autor*innen:P. Steglich, C. Mai, S. Bondarenko, Martin Paul, Michael G. WellerORCiD, S. Schrader, A. Mai
Dokumenttyp:Beitrag zu einem Tagungsband
Veröffentlichungsform:Graue Literatur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):ATTRACT Showroom
Jahr der Erstveröffentlichung:2020
Organisationseinheit der BAM:1 Analytische Chemie; Referenzmaterialien
1 Analytische Chemie; Referenzmaterialien / 1.5 Proteinanalytik
Erste Seite:1
Letzte Seite:5
DDC-Klassifikation:Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie / Analytische Chemie
Freie Schlagwörter:CMOS; Lab-on-a-chip; Microfluidics; Photonic Integrated Circuits; Photonic Sensor; Point-Of-Care-Diagnostics; Ring resonator; Silicon Photonics
Themenfelder/Aktivitätsfelder der BAM:Chemie und Prozesstechnik
Chemie und Prozesstechnik / Chemische Charakterisierung und Spurenanalytik
Veranstaltung:ATTRACT online Conference
Veranstaltungsort:Online meeting
Beginndatum der Veranstaltung:22.09.2020
Enddatum der Veranstaltung:23.09.2020
URL:https://attract-eu.com/showroom/project/integration-of-biosensors-based-on-photonic-integrated-circuits-by-local-backside-etching-biopic/
Verfügbarkeit des Dokuments:Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access")
Datum der Freischaltung:07.12.2020
Referierte Publikation:Nein
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