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Modell based ellipsometry standards for different application cases and their application for real non-ideal systems

  • Ellipsometry enables the investigation of material properties over a broad spectral range. As a fast and non-destructive method, it is widely used in industry for quality assurance. Despite the wide application of ellipsometry and its high industrial relevance there are some material-specific standards and there have been no generally accepted standards dealing with model validation and measurement uncertainties. The first German standard DIN50989-1: 2018 Ellipsometry – Part1: Principles (currently international standard ISO 23131: 2021) marks the beginning of a 6-part standard series for ellipsometry, which was developed under consideration of GUM.

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Autor*innen:Elena Ermilova
Koautor*innen:Uwe Beck, Andreas Hertwig
Dokumenttyp:Posterpräsentation
Veröffentlichungsform:Präsentation
Sprache:Englisch
Jahr der Erstveröffentlichung:2022
Organisationseinheit der BAM:6 Materialchemie
6 Materialchemie / 6.1 Oberflächen- und Dünnschichtanalyse
DDC-Klassifikation:Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie / Analytische Chemie
Freie Schlagwörter:Spectroscopic and imaging ellipsometry; Standards; Uncertainties
Themenfelder/Aktivitätsfelder der BAM:Chemie und Prozesstechnik
Veranstaltung:International Conference on Spectroscopic Ellipsometry (ICSE-9)
Veranstaltungsort:Beijing, China
Beginndatum der Veranstaltung:22.05.2022
Enddatum der Veranstaltung:28.05.2022
Verfügbarkeit des Dokuments:Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access")
Datum der Freischaltung:22.12.2022
Referierte Publikation:Nein
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