Fiber Bragg Gratings for In-Situ Stress Monitoring of Electrochemical Deposition
- The in-situ monitoring of electrochemical deposition (ECD) processes is still a challenge regarding the measurement of the effective temperature of the substrate and the formation of mechanical stress in the layer under given plating conditions. Monitoring problems can be solved by applying a pre-coated fiber Bragg grating (FBG) to the electrolytic process as the shift of the Bragg wavelength is affected by both the temperature of the electrolyte near the substrate and the stress formation in the growing layer. The experimental FBG set-up and the quantitative determination of temperature- and stress-related strain is described for a nickel-iron electrolyte.
Autor*innen: | Anja Mitzkus, Mario Sahre, Frank Basedau, Detlef Hofman, Uwe Beck |
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Dokumenttyp: | Zeitschriftenartikel |
Veröffentlichungsform: | Verlagsliteratur |
Sprache: | Englisch |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Journal of The Electrochemical Society |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2019 |
Organisationseinheit der BAM: | 6 Materialchemie |
6 Materialchemie / 6.7 Materialsynthese und Design | |
8 Zerstörungsfreie Prüfung | |
8 Zerstörungsfreie Prüfung / 8.6 Faseroptische Sensorik | |
Verlag: | Electrochemical Society |
Verlagsort: | Pennington, NJ |
Jahrgang/Band: | 166 |
Ausgabe/Heft: | 6 |
Erste Seite: | B312 |
Letzte Seite: | B315 |
DDC-Klassifikation: | Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften / Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten |
Freie Schlagwörter: | Electrochemical deposition (ECD); Fiber Bragg grating (FBG); Optical fibers |
Themenfelder/Aktivitätsfelder der BAM: | Chemie und Prozesstechnik |
Material | |
DOI: | 10.1149/2.0111906jes |
ISSN: | 0013-4651 |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access") |
Datum der Freischaltung: | 08.04.2019 |
Referierte Publikation: | Ja |
Datum der Eintragung als referierte Publikation: | 08.04.2019 |