Overview Statistic: PDF-Downloads (blue) and Frontdoor-Views (gray)

Fast simulation method for parameter reconstruction in optical metrology

Export metadata

Additional Services

Share in Twitter Search Google Scholar Statistics - number of accesses to the document
Metadaten
Author:Sven BurgerORCiD, Lin Zschiedrich, Jan Pomplun, Frank Schmidt, Bernd Bodermann
Document Type:Article
Parent Title (English):Proc. SPIE
Volume:8681
First Page:868119
Year of first publication:2013
ArXiv Id:http://arxiv.org/abs/1304.4367
DOI:https://doi.org/10.1117/12.2011154
Accept ✔
Diese Webseite verwendet technisch erforderliche Session-Cookies. Durch die weitere Nutzung der Webseite stimmen Sie diesem zu. Unsere Datenschutzerklärung finden Sie hier.