A new reference material for the determination of the Field of View of Small Area XPS
- Small Area Photoelectron Spectroscopy (XPS) is a powerful tool for investigating small surface features. It is often unclear, if the signal in the spectrum is an unwanted contamination of the Field of View (FoV) or is it originated from outside. The reason is, that XPS-spectra are affected by beam shapes. Scheithauer proposed to measure Pt apertures of different diameters and normalize the Pt4f count rate by a second measurement on the Pt metal. New reference materials were developed and tested in the VAMAS TWA2 A22 Project.
Autor*innen: | Jörg M. Stockmann |
---|---|
Koautor*innen: | Jörg Radnik, S. Bütefisch, I. Busch, C. Passiu, A. Rossi, Wolfgang Unger |
Dokumenttyp: | Posterpräsentation |
Veröffentlichungsform: | Präsentation |
Sprache: | Englisch |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2019 |
Organisationseinheit der BAM: | 6 Materialchemie |
6 Materialchemie / 6.1 Oberflächen- und Dünnschichtanalyse | |
DDC-Klassifikation: | Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie / Analytische Chemie |
Freie Schlagwörter: | Field of Analysis; Reference material; Selected Area XPS; Small Area XPS; Small Spot XPS |
Themenfelder/Aktivitätsfelder der BAM: | Chemie und Prozesstechnik |
Veranstaltung: | ECASIA 2019 |
Veranstaltungsort: | Dresden, Germany |
Beginndatum der Veranstaltung: | 15.09.2019 |
Enddatum der Veranstaltung: | 20.09.2019 |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access") |
Datum der Freischaltung: | 10.10.2019 |
Referierte Publikation: | Nein |