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Interlaboratory comparison: optical property classification of carbon-based films by ellipsometry

  • The paper addresses the “INTERLABORATORY COMPARISON: OPTICAL PROPERTY CLASSIFICATION OF CARBON-BASED FILMS BY ELLIPSOMETRY” and the following points are discussed in more detail: Established classification for mechanical properties, Complementary classification for optical properties, Ellipsometry for determination of optical constants n-k plane as material fingerprint, Samples, participants & set-ups (samples: Japan, participants: Japan, Germany, France, set-ups: Japan, Germany, USA) and Results of interlaboratory comparison: thickness, n & k.

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Autor*innen:Uwe Beck, M. Hiratsuka
Koautor*innen:Ch. Spindler, N. Ohtake, Andreas Hertwig, J. Becker, J. Gäbler, Th. Neubert, M. Vergöhl, J. Winkler, C. Eypert
Dokumenttyp:Vortrag
Veröffentlichungsform:Präsentation
Sprache:Englisch
Jahr der Erstveröffentlichung:2017
DDC-Klassifikation:Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie / Analytische Chemie
Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften / Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten
Freie Schlagwörter:Carbon-based Films; Ellipsometry; Interlaboratory Comparison; Optical Property
Veranstaltung:ISO TC 107 Meeting Tokyo
Veranstaltungsort:Tokio, Japan
Beginndatum der Veranstaltung:17.01 2017
Enddatum der Veranstaltung:20.01.2017
Verfügbarkeit des Dokuments:Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access")
Datum der Freischaltung:25.01.2017
Referierte Publikation:Nein
Eingeladener Vortrag:Nein
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