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Preliminary work item (PWI) 23131 on standardization of ellipsometry

  • The paper addresses the PRELIMINARY WORK ITEM (PWI) 23131 ON STANDARDIZATION OF ELLIPSOMETRY and the following points are discussed in more detail: Historical background of ellipsometry, Technical/industrial importance of ellipsometry and Standardization activities on ellipsometry.

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  • ISO_TC_107_JWG4_LEVI_2018_BECK_FINAL_P.pdf
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Metadaten
Autor*innen:Uwe Beck
Koautor*innen:Andreas Hertwig, J. Winkler
Dokumenttyp:Vortrag
Veröffentlichungsform:Präsentation
Sprache:Englisch
Jahr der Erstveröffentlichung:2018
Organisationseinheit der BAM:6 Materialchemie
6 Materialchemie / 6.7 Materialsynthese und Design
DDC-Klassifikation:Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie / Analytische Chemie
Freie Schlagwörter:Accreditation; Ellipsometrie; Modelling; Standardization
Themenfelder/Aktivitätsfelder der BAM:Chemie und Prozesstechnik
Veranstaltung:ISO TC 107 and JWG 4 meeting
Veranstaltungsort:Levi, Finland
Beginndatum der Veranstaltung:23.01.2018
Enddatum der Veranstaltung:24.01.2018
Verfügbarkeit des Dokuments:Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access")
Datum der Freischaltung:30.01.2018
Referierte Publikation:Nein
Eingeladener Vortrag:Nein
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