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JCMsuite: An Adaptive FEM Solver for Precise Simulations in Nano-Optics
(2008)
Burger, Sven
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Pomplun, Jan
;
Schmidt, Frank
Advanced FEM analysis of optical waveguides: algorithms and applications
(2008)
Schmidt, Frank
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Burger, Sven
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Pomplun, Jan
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Zschiedrich, Lin
Evaluation of EUV scatterometry for CD characterization of EUV masks using rigorous FEM-simulation
(2008)
Scholze, Frank
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Laubis, Christian
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Ulm, Gerhard
;
Dersch, Uwe
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Pomplun, Jan
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Burger, Sven
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Schmidt, Frank
Metrology of EUV masks by EUV-scatterometry and finite element analysis
(2008)
Pomplun, Jan
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Burger, Sven
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Schmidt, Frank
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Scholze, Frank
;
Laubis, Christian
;
Dersch, Uwe
Reduced Basis Method for Nano Optical Simulations
(2008)
Pomplun, Jan
;
Schmidt, Frank
Benchmark of rigorous methods for electromagnetic field simulation
(2008)
Burger, Sven
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Zschiedrich, Lin
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Schmidt, Frank
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Evanschitzky, Peter
;
Erdmann, Andreas
A rigorous finite-element domain decomposition method for electromagnetic near field simulations
(2008)
Zschiedrich, Lin
;
Burger, Sven
;
Schädle, Achim
;
Schmidt, Frank
Finite element simulation of light propagation in non-periodic mask patterns
(2008)
Zschiedrich, Lin
;
Schmidt, Frank
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