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Reduced basis method for source mask optimization

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Metadaten
Author:Jan Pomplun, Lin Zschiedrich, Sven BurgerORCiD, Frank Schmidt, Jacek Tyminski, Donis Flagello, N. Toshiharu
Document Type:In Proceedings
Parent Title (English):Photomask Technology
Volume:7823
First Page:78230E
Publisher:Proc. SPIE
Year of first publication:2010
DOI:https://doi.org/10.1117/12.866101
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