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An XPS investigation into the chemical structure of deposits formed from hexamethyldisiloxane/oxgen plasmas

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Metadaten
Author:Morgan Alexander, Robert Short, Frank Jones, Manfred StollenwerkORCiD, Gerd Mathar, Jochen Zabold, Walter Michaeli
Parent Title (English):Journal of Materials Science
Document Type:Article
Language:English
Year of Completion:1996
Release Date:2019/10/24
GND Keyword:Hexamethyldisiloxan; Plasma
Volume:31
First Page:1879
Last Page:1885
Urheberrecht:0
research focus :Materials / Innovative Material Processing
Materials / Material Testing & Sensor Technology
Licence (German):Keine Lizenz - es gilt das deutsche Urheberrecht
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