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Smoothing of interfaces in ultrathin Mo-Si multilayers by ion bombardment

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Metadaten
Author:Andreas Kloidt, Hans-Jürgen Stock, Ulf Kleineberg, Thorsten DöhringORCiD, Michael Pröpper, Bernt Schmiedeskamp, Ulrich Heinzmann
Parent Title (English):Thin Solid Films
Document Type:Article
Language:English
Year of Completion:1993
Release Date:2019/07/10
GND Keyword:Dünne Schicht; Oberflächenphysik
Volume:228
Issue:1-2
First Page:154
Last Page:157
Urheberrecht:0
research focus :Materials / Innovative Material Processing
Materials / Material Testing & Sensor Technology
Licence (German):Keine Lizenz - es gilt das deutsche Urheberrecht
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