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Efficient micromachining of thin film layers with nanosecond lasers – beam shaping optics improve process quality and enhance throughput

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Metadaten
Author:Christian Bischoff, Stefan RungORCiD, Ralf HellmannORCiD
Parent Title (English):Laser Technik Journal
Document Type:Article
Language:English
Year of Completion:2012
Release Date:2014/09/01
GND Keyword:Laser; Nanosekundenbereich; Dünne Schicht
Volume:9
Issue:5
First Page:15
Last Page:20
Urheberrecht:1
research focus :Intelligent Systems / Intelligent Sensors and Signals
Materials / Innovative Material Processing
Materials / Material Testing & Sensor Technology
Licence (German):Keine Lizenz - es gilt das deutsche Urheberrecht
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