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Back side ablation of SiC diodes using a q-switched NIR laser

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Metadaten
Author:Benedikt Adelmann, Gian-Luca Roth, Ralf HellmannORCiD
Parent Title (English):Journal of Laser Micro/Nanoengineering
Document Type:Article
Language:English
Year of Completion:2015
Release Date:2020/05/05
GND Keyword:Halbleiterdiode; NIR
Volume:10
First Page:190
Last Page:194
Urheberrecht:1
research focus :Intelligent Systems / Intelligent Sensors and Signals
Materials / Innovative Material Processing
Materials / Material Testing & Sensor Technology
Licence (German):Creative Commons - CC BY - Namensnennung 4.0 International
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