Note: Nanomechanical characterization of soft materials using a micro-machined nanoforce transducer with an FIB-made pyramidal tip

  • The quantitative nanomechanical characterization of soft materials using the nanoindentation technique requires further improvements in the performances of instruments, including their force Resolution in particular. A micro-machined silicon nanoforce transducer based upon electrostatic comb drives featuring the force and depth resolutions down to 1 nN and 0.2 nm, respectively, is described. At the end of theMEMStransducer’s main shaft, a pyramidal tip is fabricated using a focused ion beam facility. A proof-of-principle setup with this MEMS nanoindenter has been established to measure the mechanical properties of soft polydimethylsiloxane. First measurement results demonstrate that the prototype measurement system is able to quantitatively characterize soft materials with elastic moduli down to a few MPa.

Volltext Dateien herunterladen

  • 2017_RSI_Note_Nanomechanical characterization of soft materials using a micro-machined nanoforce transducer with an FIB-made pyramidal tip.pdf
    eng

Metadaten exportieren

Weitere Dienste

Teilen auf Twitter Suche bei Google Scholar Anzahl der Zugriffe auf dieses Dokument
Metadaten
Autor*innen:Z. Li, S. Gao, U. Brand, K. Hiller, Nicole Wollschläger, F. Pohlenz
Dokumenttyp:Zeitschriftenartikel
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Review of Scientific Instruments
Jahr der Erstveröffentlichung:2017
Verlag:AIP Publishing
Jahrgang/Band:88
Ausgabe/Heft:3
Erste Seite:036104-1
Letzte Seite:036104-3
DDC-Klassifikation:Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie / Analytische Chemie
Freie Schlagwörter:Indentation; MEMS; Soft material
DOI:10.1063/1.4977474
ISSN:0034-6748
ISSN:1089-7623
Verfügbarkeit des Dokuments:Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access")
Datum der Freischaltung:09.03.2017
Referierte Publikation:Ja
Datum der Eintragung als referierte Publikation:18.04.2017
Einverstanden
Diese Webseite verwendet technisch erforderliche Session-Cookies. Durch die weitere Nutzung der Webseite stimmen Sie diesem zu. Unsere Datenschutzerklärung finden Sie hier.