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Finite element models of lithographic mask topography

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Metadaten
Author:Jacek Tyminski, Raluca Popescu, Sven BurgerORCiD, Jan Pomplun, Lin Zschiedrich, Tomoyuki Matsuyama, Tomoya Noda
Editor:W. Conley
Document Type:In Proceedings
Parent Title (English):Proc. SPIE
Volume:8326
First Page:83261B
Year of first publication:2012
DOI:https://doi.org/10.1117/12.916957
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