The influence of the storage time and the deposition of SiO2 on the properties of H2SO4 etched (In,Ga) As surface layers investigated by XPS and ellipsometry
Autor*innen: | K. Wandel, Mathias ProcopORCiD, U. Richter, R. Wolf |
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Dokumenttyp: | Zeitschriftenartikel |
Veröffentlichungsform: | Verlagsliteratur |
Sprache: | Englisch |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Semiconductor science and technology |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 1993 |
Verlag: | IOP Publ. |
Verlagsort: | Bristol |
Jahrgang/Band: | 8 |
Erste Seite: | 1438 |
Letzte Seite: | 1444 |
ISSN: | 0268-1242 |
ISSN: | 1361-6641 |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Physisches Exemplar in der Bibliothek der BAM vorhanden ("Hardcopy Access") |
Bibliotheksstandort: | Sonderstandort: Publica-Schrank |
Datum der Freischaltung: | 19.02.2016 |
Referierte Publikation: | Ja |
Datum der Eintragung als referierte Publikation: | 07.03.2005 |