First steps towards a scatterometry reference standard
Verfasserangaben: | Bernd Bodermann, Poul-Erik Hansen, Sven BurgerORCiD, Mark-Alexander Henn, Hermann Gross, Markus Bär, Frank Scholze, Johannes Endres, Matthias Wurm |
---|---|
Dokumentart: | Konferenzbeitrag |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Proc. SPIE |
Band: | 8466 |
Erste Seite: | 84660E |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2012 |
DOI: | https://doi.org/10.1117/12.929903 |