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Forward simulation of coherent beams on grating structures for coherent scatterometry

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Metadaten
Author:Martin Hammerschmidt, Lin Zschiedrich, Lauryna Siaudinyté, Phillip Manley, Philipp-Immanuel Schneider, Sven Burger
Document Type:In Proceedings
Parent Title (English):Proc. SPIE
Volume:PC12619
First Page:PC1261907
Year of first publication:2023
ArXiv Id:http://arxiv.org/abs/2309.06109
DOI:https://doi.org/10.1117/12.2673231
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