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Finite element simulation of light propagation in non-periodic mask patterns

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Metadaten
Author:Lin Zschiedrich, Frank Schmidt
Editor:Toshiyuki Horiuchi
Document Type:In Proceedings
Parent Title (English):Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XV
Volume:7028
Publisher:SPIE
Year of first publication:2008
URL:http://arxiv.org/pdf/0804.2587v1
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