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Im Rahmen des EMPIR-Projektes NanoXSpot (Nanometre X-ray Focal Spot Measurement) werden rückführbare Messverfahren zur Bestimmung der Brennfleckgröße und -form von Röntgenröhren im Bereich von 100 nm bis 10 mm entwickelt, welche die Grundlage für die Erarbeitung mehrerer Normentwürfe bilden. Diese werden 2022 parallel bei ISO TC 135 (NDT) SC 5 (RT) und CEN TC 138 (NDT) WG 1 (RT) eingereicht. Entsprechende Normen werden auch bei ASTM vorgestellt. Die Norm EN 12543-4 (Kantenmethode) wird umgeschrieben für die Messung von Brennflecken von 1 μm – 10 mm durch Auswertung von Loch- oder Scheibenaufnahmen. Der im Rahmen des NanoXSpot-Projektes neu entwickelte NxS-Testkörper ist geeignet für den Bereich von 1 μm – 100 μm. Von 100 μm bis 10 mm können ASTM-Lochtestkörper verwendet werden, die bereits bei ASTM E 1165 beschrieben sind. Neu ist die Anwendung eines CT-Algorithmus zur Rekonstruktion der Brennflecke, um Lochblenden-basierte Brennfleckkameras, insbesondere im Bereich unter 100 μm, zu ersetzen. Ein neuer Normteil, EN 12543-6, wurde entworfen, um die Brennfleckmessung im Bereich 100 nm – 20 μm mit hoher Genauigkeit zu ermöglichen. Verschiedene Strichgruppen-Testkörper kommen hier zum Einsatz. Das sind die JIMAPrüfkörper, ein neuer Hochkontrast-Strichgruppentestkörper von YXLON (HiCo) und der neu entwickelte Testkörper NxS. Diese werden vorgestellt. Die Messprozedur für Röhrenhersteller wird auf einer numerischen Fit-Prozedur basieren, die über einen Ringversuch im Projekt validiert wurde. Beide Normen benötigen numerische Auswertealgorithmen zur korrekten Anwendung, die als kommerzielle Software und Public Domain – Software verfügbar gemacht werden. Es wird über die zu erwartenden Standardprozeduren und die erforderliche Hardware zur Anwendung der Normen informiert.
Traceable determination of non-static XCT machine geometry: New developments and case studies
(2022)
It is fundamental to determine the machine geometry accurately for dimensional X-ray computed tomography (XCT) measurements. When performing high-accuracy scans, compensation of a non-static geometry, e.g. due to rotary axis errors or drift, might become necessary. Here we provide an overview of methods to determine and account for such deviations on a per projection basis. They include characterisation of stage error motions, in situ geometry measurements, numerical simulations, and reconstruction-based optimization relying on image quality metrics and will be discussed in terms of their metrological performance. Since a radiographic calibration is always required to provide an initial absolute geometry, this method will be presented as well. The improvements of the XCT geometry correction methods are presented by means of case studies. The methods can be applied individually or in combination and are intended to provide a toolbox for XCT geometry compensation.
It is fundamental to determine the machine geometry accurately for dimensional X-ray computed tomography (XCT) measurements. When performing high-accuracy scans, compensation of a non-static geometry, e.g. due to rotary axis errors or drift, might become necessary. Here we provide an overview of methods to determine and account for such deviations on a per projection basis. They include characterisation of stage error motions, in situ geometry measurements, numerical simulations, and reconstruction-based optimization relying on image quality metrics and will be discussed in terms of their metrological performance. Since a radiographic calibration is always required to provide an initial absolute geometry, this method will be presented as well.