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Autor*in
Senoner, Mathias
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Erscheinungsjahr
2007 (2)
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Dokumenttyp
Vortrag
(1)
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Sprache
Deutsch
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New procedures for the determination of lateral resolution of instruments for surface analysis in the nanometre range (VAMAS Projekt A8)
(2007)
Senoner, Mathias
A new sub-lithographic strip pattern for the standardised determination of lateral resolution in the nanometer range
(2007)
Senoner, Mathias
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