Anmelden
Open Access
Startseite
Suchen
Browsen
Veröffentlichen
Hilfe
Schließen
Autoren/innen
Alle Wörter
Mindestens ein Wort
Keines der Wörter
Titel
Alle Wörter
Mindestens ein Wort
Keines der Wörter
Weitere Personen (z. B. Koautoren/innen)
Alle Wörter
Mindestens ein Wort
Keines der Wörter
Gutachter/innen
Alle Wörter
Mindestens ein Wort
Keines der Wörter
Zusammenfassung
Alle Wörter
Mindestens ein Wort
Keines der Wörter
Volltext
Alle Wörter
Keines der Wörter
Filtern
Autor*in
Azuma, Y.
(1)
Bailey, P.
(1)
Bensebaa, F.
(1)
Biswas, S.
(1)
Chandler-Horowitz, D.
(1)
Chen, H.Y.
(1)
Cho, H.M.
(1)
Danzebrink, H.
(1)
Dura, J.A.
(1)
Ehrstein, J.R.
(1)
+ weitere
Erscheinungsjahr
2003
(1)
Dokumenttyp
Forschungsbericht
(1)
Sprache
Englisch
(1)
Referierte Publikation
nein (1)
(entfernen)
Schlagworte
Ellipsometry
(1)
SiO2
(1)
TEM
(1)
Thickness
(1)
Thin films
(1)
XPS
(1)
1
Treffer
1
bis
1
Export
CSV
RIS
XML
100
10
20
50
100
Ultra-thin SiO2 on Si, Part V: Results of a CCQM Pilot Study of Thickness Measurements
(2003)
Seah, M.P.
;
Spencer, S.J.
;
Bensebaa, F.
;
Vickridge, I.
;
Danzebrink, H.
;
Krumrey, M.
;
Gross, Thomas
;
Österle, Werner
;
Wendler, E.
;
Rheinländer, B.
;
Azuma, Y.
;
Kojima, I.
;
Suzuki, N.
;
Suzuki, M.
;
Tanuma, S.
;
Moon, D.W.
;
Lee, H.J.
;
Cho, H.M.
;
Chen, H.Y.
;
Wee, A. T. S.
;
Osipowicz, T.
;
Pan, J.S.
;
Jordaan, W.A.
;
Hauert, R.
;
Klotz, U.
;
van der Marel, C.
;
Verheijen, M.
;
Tamminga, Y.
;
Jeynes, C.
;
Bailey, P.
;
Biswas, S.
;
Falke, U.
;
Nguyen, N.V.
;
Chandler-Horowitz, D.
;
Ehrstein, J.R.
;
Muller, D.
;
Dura, J.A.
1
bis
1
Einverstanden
Diese Webseite verwendet technisch erforderliche Session-Cookies. Durch die weitere Nutzung der Webseite stimmen Sie diesem zu.
Unsere Datenschutzerklärung finden Sie hier.