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New concepts for the measurement of focal spot parameters of nano- and microfocus X-ray tubes
(2019)
Accurate measurement of focal spot sizes of X-ray tubes, betatrons and linear accelerators is still an open problem. Several standards are currently active, which provide different results depending on the focal spot shape. CEN published the standard series EN 12543 (five parts) in 1999, which describes the measurement of focal spot sizes of X-ray tubes for NDT applications. The measurement procedure and its tolerances deviate from the measurement standards for medical X-ray tubes, e.g. EN 60336:2006 / IEC 60336:2005. EN 12543 describes different measurement methods for X-ray tubes with focal spots in several size ranges, defined as macrofocus, minifocus and microfocus. CEN TC 138 WG 1 und ASTM E 07.01 are revising (CEN) or have just revised (ASTM) the standards for focal spot size measurements, basing them on pin hole or edge measurements only. Slit cameras are applied for medical tube evaluation only. Tomographic methods for focal spot size shape reconstruction were proposed and will be discussed, but have not yet been used for standardization. The currently available standards cover the range of spot sizes from 5 µm up to several millimetres. During the last years, more and more nanofocus tubes have been developed for high-resolution applications and microscopy. Manufacturers and users apply different methods for measurement of nanofocus spot sizes and image resolution, which differ by a factor of up to two. These well-known methods and new alternative methods for the measurement of nanofocus spots (size and shape) will be evaluated and improved in the EMPIR project “NanoXSpot” in order to develop a related measurement standard.
Neue Konzepte zur Messung von Parametern der Brennflecke von Nano- und Mikrofokus-Röntgenröhren
(2019)
Die exakte Messung der Brennfleckgrößen von Röntgenröhren, Betatrons und Linear-Beschleunigern ist immer noch ein offenes Problem. Es existieren diverse Standards, die alle zu unterschiedlichen Resultaten führen in Abhängigkeit von der Brennfleckform. CEN hat 1999 die Serie EN 12543 (5 Teile) veröffentlicht, die die Messung der Brennfleckgrößen von Röntgenröhren für ZfP-Anwendungen beschreibt. Die Messprozeduren und Toleranzen unterscheiden sich von den Messstandards für medizinische Röntgenröhren, wie z. B. DIN EN 60336:2006 / IEC 60336:2005. EN 12543 beschreibt verschiedene Messmethoden für Standard-, Minifokus- und Mikrofokus-Röntgenröhren. CEN TC 138 WG 1 und ASTM E 07 revidieren bzw. revidierten daher die Standards zur Brennfleckmessung, wobei alle Messungen auf Pin-Hole- oder Kantenabbildungen zurückgeführt werden sollen. Die Schlitzblenden-Messung wird dann nur noch in der Medizin Anwendung finden. Es wurden auch tomographische Verfahren zur Rekonstruktion von Brennflecken vorgeschlagen. Die derzeit verfügbaren Standards decken den Bereich von 5 μm bis zu mehreren Millimetern ab. Mit der Entwicklung von Nanofokus-Röhren haben Hersteller unterschiedliche Verfahren zur Auflösungs- oder Brennfleckmessung eingeführt, deren Werte teilweise um den Faktor 2 unterschiedlich sind. Vorrangig wird hierbei auf ein JIMA-Target zurückgegriffen, dessen Auswertung die Detailerkennbarkeit widerspiegelt. Verschiedene Europäische Partner diskutieren derzeit Konzepte zur Messung von Brennflecken im Bereich von 100 nm bis 5 μm. Dabei werden hauptsächlich Messprozeduren zur Auswertung der Aufnahmen von Strichgruppenkörpern und kleinen Lochplatten untersucht. Als Ergebnis sollen Daten zur Brennflecklänge, -breite und -form bestimmt und standardisiert werden, um Produkte vergleichbar zu klassifizieren. Erste Konzepte hierzu und Ergebnisse früherer Untersuchungen werden vorgestellt.