About calibration of thickness standards on nanometre scale
Autor*innen: | K. Hasche |
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Koautor*innen: | G. Ulm, K. Herrmann, M. Krumrey, G. Ade, J. Stümpel, I. Busch, P. Thomsen-Schmidt, S. Schädlich, A. Schindler, Uwe Beck, Mathias Procop, W. Frank |
Dokumenttyp: | Posterpräsentation |
Veröffentlichungsform: | Präsentation |
Sprache: | Englisch |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | 3rd euspen International Conference |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2002 |
Veranstaltung: | 3rd euspen International Conference |
Veranstaltungsort: | Eindhoven, Netherlands |
Beginndatum der Veranstaltung: | 2002-05-26 |
Enddatum der Veranstaltung: | 2002-05-30 |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Weder Datei noch physisches Exemplar vorhanden ("No Access") |
Datum der Freischaltung: | 19.02.2016 |
Referierte Publikation: | Nein |