A publicly available specification (PAS) for ellipsometry: Measurement of reference coatings and non-ideal samples

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Metadaten
Autor*innen:Uwe Beck
Koautor*innen:Steffen Baudach, Marion Männ
Dokumenttyp:Posterpräsentation
Veröffentlichungsform:Präsentation
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):3rd International Conference on Spectroscopic Ellipsometry (ICSE 3)
Jahr der Erstveröffentlichung:2003
Veranstaltung:3rd International Conference on Spectroscopic Ellipsometry (ICSE 3)
Veranstaltungsort:Vienna, Austria
Beginndatum der Veranstaltung:2003-07-07
Enddatum der Veranstaltung:2003-07-11
Verfügbarkeit des Dokuments:Weder Datei noch physisches Exemplar vorhanden ("No Access")
Datum der Freischaltung:19.02.2016
Referierte Publikation:Nein
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