About the calibration of thickness standards on the nanometer scale

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Autor*innen:Mathias ProcopORCiD
Koautor*innen:Uwe Beck, K. Hasche, G. Ulm, K. Herrmann, M. Krumrey, G. Ade, J. Sümpel, I. Busch, P. Thomsen-Schmidt, S. Schädlich, A. Schindler, W. Frank
Dokumenttyp:Vortrag
Veröffentlichungsform:Präsentation
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):EUSPEN 2002
Jahr der Erstveröffentlichung:2002
Veranstaltung:EUSPEN 2002
Veranstaltungsort:Eindhoven, Netherlands
Beginndatum der Veranstaltung:2002-05-26
Enddatum der Veranstaltung:2002-05-30
Verfügbarkeit des Dokuments:Weder Datei noch physisches Exemplar vorhanden ("No Access")
Datum der Freischaltung:19.02.2016
Referierte Publikation:Nein
Eingeladener Vortrag:Nein
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