Ellipsometry and Standardisation: A Publicly Available Specification (PAS) for Ellipsometry - Measurement of Reference Coatings and Non-ideal Samples
MetadatenAutor*innen: | Uwe Beck |
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Koautor*innen: | Marion Männ |
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Dokumenttyp: | Posterpräsentation |
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Veröffentlichungsform: | Präsentation |
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Sprache: | Englisch |
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Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | International Conference on Spectroscopic Ellipsometry (ICSE 3) |
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Jahr der Erstveröffentlichung: | 2003 |
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Veranstaltung: | International Conference on Spectroscopic Ellipsometry (ICSE 3) |
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Veranstaltungsort: | Vienna, Austria |
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Beginndatum der Veranstaltung: | 2003-07-07 |
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Enddatum der Veranstaltung: | 2003-07-11 |
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Verfügbarkeit des Dokuments: | Weder Datei noch physisches Exemplar vorhanden ("No Access") |
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Datum der Freischaltung: | 19.02.2016 |
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Referierte Publikation: | Nein |
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