Realisation and metrological characterisation of thickness standards below 100 nm

Metadaten exportieren

Weitere Dienste

Teilen auf Twitter Suche bei Google Scholar Anzahl der Zugriffe auf dieses Dokument
Metadaten
Autor*innen:P. Thomsen-Schmidt, K. Hasche, G. Ulm, K. Herrmann, M. Krumrey, G. Ade, J. Stümpel, Mathias ProcopORCiD, Uwe Beck
Dokumenttyp:Beitrag zu einem Tagungsband
Veröffentlichungsform:Graue Literatur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Tagungsband der DVG Jahrestagung 2002
Jahr der Erstveröffentlichung:2002
Verlag:Deutsche Vakuum-Gesellschaft
Verlagsort:Kaiserslautern
Erste Seite:1
Letzte Seite:9
Veranstaltung:DVG Jahrestagung 2002
Veranstaltungsort:Magdeburg, Germany
Beginndatum der Veranstaltung:2002-06-17
Enddatum der Veranstaltung:2002-06-20
Verfügbarkeit des Dokuments:Physisches Exemplar in der Bibliothek der BAM vorhanden ("Hardcopy Access")
Bibliotheksstandort:Sonderstandort: Publica-Schrank
Datum der Freischaltung:19.02.2016
Referierte Publikation:Nein
Einverstanden
Diese Webseite verwendet technisch erforderliche Session-Cookies. Durch die weitere Nutzung der Webseite stimmen Sie diesem zu. Unsere Datenschutzerklärung finden Sie hier.