Realisation and metrological characterisation of thickness standards below 100 nm
Autor*innen: | P. Thomsen-Schmidt, K. Hasche, G. Ulm, K. Herrmann, M. Krumrey, G. Ade, J. Stümpel, Mathias ProcopORCiD, Uwe Beck |
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Dokumenttyp: | Beitrag zu einem Tagungsband |
Veröffentlichungsform: | Graue Literatur |
Sprache: | Englisch |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Tagungsband der DVG Jahrestagung 2002 |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2002 |
Verlag: | Deutsche Vakuum-Gesellschaft |
Verlagsort: | Kaiserslautern |
Erste Seite: | 1 |
Letzte Seite: | 9 |
Veranstaltung: | DVG Jahrestagung 2002 |
Veranstaltungsort: | Magdeburg, Germany |
Beginndatum der Veranstaltung: | 2002-06-17 |
Enddatum der Veranstaltung: | 2002-06-20 |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Physisches Exemplar in der Bibliothek der BAM vorhanden ("Hardcopy Access") |
Bibliotheksstandort: | Sonderstandort: Publica-Schrank |
Datum der Freischaltung: | 19.02.2016 |
Referierte Publikation: | Nein |