Mikrostrukturierung von Glas zur Erzeugung kristalliner Si-Schichten
Autor*innen: | Pascale Rudolph, Jörg KrügerORCiD, Wolfgang Kautek |
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Dokumenttyp: | Beitrag zu einem Sammelband |
Veröffentlichungsform: | Graue Literatur |
Sprache: | Deutsch |
Titel des übergeordneten Werkes (Deutsch): | Laser in der Materialbearbeitung |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2000 |
Herausgeber (Institution): | Technologiezentrum Physikalische Technologien |
Verlag: | VDI-Verl. |
Verlagsort: | Düsseldorf |
Ausgabe/Heft: | 12 |
Erste Seite: | 7 |
Letzte Seite: | 36 |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Weder Datei noch physisches Exemplar vorhanden ("No Access") |
Datum der Freischaltung: | 19.02.2016 |
Referierte Publikation: | Nein |