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Investigation of excimer laser ablation threshold of polymers using a microphone

  • KrF excimer laser ablation of polyethylene terephthalate (PET), polyimide (PI) and polycarbonate (PC) in air was studied by an in situ monitoring technique using a microphone. The microphone signal generated by a short acoustic pulse represented the etch rate of laser ablation depending on the laser fluence, i.e., the ablation “strength”. From a linear relationship between the microphone output voltage and the laser fluence, the single-pulse ablation thresholds were found to be 30 mJ cm-2 for PET, 37 mJ cm-2 for PI and 51 mJ cm-2 for PC (20-pulses threshold). The ablation thresholds of PET and PI were not influenced by the number of pulses per spot, while PC showed an incubation phenomenon. A microphone technique provides a simple method to determine the excimer laser ablation threshold of polymer films.

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Metadaten
Autor*innen:Jörg KrügerORCiD, Hiroyuki Niino, A. Yabe
Dokumenttyp:Zeitschriftenartikel
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Applied surface science
Jahr der Erstveröffentlichung:2002
Verlag:North-Holland
Verlagsort:Amsterdam
Jahrgang/Band:197-198
Erste Seite:800
Letzte Seite:804
Freie Schlagwörter:Acoustic measurement; Incubation; Laser ablation; Microphone; Polymer; Treshold
DOI:10.1016/S0169-4332(02)00418-X
ISSN:0169-4332
ISSN:1873-5584
Verfügbarkeit des Dokuments:Physisches Exemplar in der Bibliothek der BAM vorhanden ("Hardcopy Access")
Bibliotheksstandort:Sonderstandort: Publica-Schrank
Bibliotheksstandort:ZA 83
Datum der Freischaltung:19.02.2016
Referierte Publikation:Ja
Datum der Eintragung als referierte Publikation:10.12.2002
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