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Mechanische und optische Charakterisierung dünner Schichten

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Autor*innen:Michael Griepentrog
Dokumenttyp:Vortrag
Veröffentlichungsform:Präsentation
Sprache:Deutsch
Titel des übergeordneten Werkes (Deutsch):11. Bundesdeutsche Fachtagung Plasmatechnologie
Jahr der Erstveröffentlichung:2003
Veranstaltung:11. Bundesdeutsche Fachtagung Plasmatechnologie
Veranstaltungsort:Ilmenau, Germany
Beginndatum der Veranstaltung:2003-03-09
Enddatum der Veranstaltung:2003-03-12
Verfügbarkeit des Dokuments:Weder Datei noch physisches Exemplar vorhanden ("No Access")
Datum der Freischaltung:19.02.2016
Referierte Publikation:Nein
Eingeladener Vortrag:Nein
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