Bestimmung von ionen-implantiertem Molybdän in Halbleitersilizium
Autor*innen: | Achim Berger |
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Koautor*innen: | Klaus Ecker, Wolfgang Pritzkow, Heinrich Riesemeier, Jochen Vogl |
Dokumenttyp: | Posterpräsentation |
Veröffentlichungsform: | Präsentation |
Sprache: | Deutsch |
Titel des übergeordneten Werkes (Deutsch): | 20. Seminar Aktivierungsanalyse, TU München/Garching |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2005 |
Veranstaltung: | 20. Seminar Aktivierungsanalyse, TU München/Garching |
Veranstaltungsort: | Munich, Germany |
Beginndatum der Veranstaltung: | 2005-02-24 |
Enddatum der Veranstaltung: | 2005-02-25 |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Weder Datei noch physisches Exemplar vorhanden ("No Access") |
Datum der Freischaltung: | 19.02.2016 |
Referierte Publikation: | Nein |