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Packaging of large and low-pitch size 2D ultrasonic transducer arrays

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Metadaten
Author: Der-Song Lin, Xuefeng Zhuang, Robert Wodnicki, Charles. G. Woychik, Ömer Oralkan, Mario Kupnik, Butrus T. Khuri-Yakub
ISBN:978-1-424-45761-8
ISBN:978-1-4244-5763-2
Title of the source (English):IEEE 23rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010
Publisher:IEEE
Place of publication:Piscataway, NJ
Document Type:Conference Proceeding
Language:English
Year of publication:2010
First Page:508
Last Page:511
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Elektronische Systeme und Sensorik
Institution name at the time of publication:Fakultät für Maschinenbau, Elektrotechnik und Wirtschaftsingenieurwesen (eBTU) / LS Allgemeine Elektrotechnik und Messtechnik
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