MetadatenAuthor: | Der-Song Lin, Xuefeng Zhuang, Robert Wodnicki, Charles. G. Woychik, Ömer Oralkan, Mario Kupnik, Butrus T. Khuri-Yakub |
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ISBN: | 978-1-424-45761-8 |
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ISBN: | 978-1-4244-5763-2 |
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Title of the source (English): | IEEE 23rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010 |
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Publisher: | IEEE |
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Place of publication: | Piscataway, NJ |
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Document Type: | Conference Proceeding |
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Language: | English |
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Year of publication: | 2010 |
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First Page: | 508 |
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Last Page: | 511 |
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Faculty/Chair: | Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Elektronische Systeme und Sensorik |
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Institution name at the time of publication: | Fakultät für Maschinenbau, Elektrotechnik und Wirtschaftsingenieurwesen (eBTU) / LS Allgemeine Elektrotechnik und Messtechnik |
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