English
Anmelden
Open Access
Startseite
Suchen
Browsen
Veröffentlichen
FAQ
Overview Statistic: PDF-Downloads (blue) and Frontdoor-Views (gray)
Schließen
Autor:innen
Alle Wörter
Mindestens ein Wort
Keines der Wörter
Titel
Alle Wörter
Mindestens ein Wort
Keines der Wörter
Weitere Person(en)
Alle Wörter
Mindestens ein Wort
Keines der Wörter
Gutachter:innen
Alle Wörter
Mindestens ein Wort
Keines der Wörter
Zusammenfassung
Alle Wörter
Mindestens ein Wort
Keines der Wörter
Volltext
Alle Wörter
Keines der Wörter
Filtern
Autor:in
Ulm, Gerhard (1)
(entfernen)
Erscheinungsjahr
2008
(1)
Dokumenttyp
Konferenzbeitrag
(1)
Sprache
Englisch
(1)
Volltext vorhanden
nein
(1)
Gehört zur Bibliographie
nein
(1)
Institut
Computational Nano Optics
(1)
Numerical Mathematics
(1)
1
Treffer
1
bis
1
Export
BibTeX
CSV
RIS
XML
10
10
20
50
100
Evaluation of EUV scatterometry for CD characterization of EUV masks using rigorous FEM-simulation
(2008)
Scholze, Frank
;
Laubis, Christian
;
Ulm, Gerhard
;
Dersch, Uwe
;
Pomplun, Jan
;
Burger, Sven
;
Schmidt, Frank
1
bis
1
Accept ✔
Diese Webseite verwendet technisch erforderliche Session-Cookies. Durch die weitere Nutzung der Webseite stimmen Sie diesem zu.
Unsere Datenschutzerklärung finden Sie hier.