Analytical modeling and 3D finite element simulation of line edge roughness in scatterometry
Verfasserangaben: | Akiko Kato, Sven BurgerORCiD, Frank Scholze |
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Dokumentart: | Artikel |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Appl. Optics |
Band: | 51 |
Erste Seite: | 6457 |
Letzte Seite: | 6464 |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2012 |
ArXiv-Id: | http://arxiv.org/abs/1208.4220 |
DOI: | https://doi.org/10.1364/AO.51.006457 |