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Analytical modeling and 3D finite element simulation of line edge roughness in scatterometry

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Verfasserangaben:Akiko Kato, Sven BurgerORCiD, Frank Scholze
Dokumentart:Artikel
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Appl. Optics
Band:51
Erste Seite:6457
Letzte Seite:6464
Jahr der Erstveröffentlichung:2012
ArXiv-Id:http://arxiv.org/abs/1208.4220
DOI:https://doi.org/10.1364/AO.51.006457
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