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Extracting dimensional parameters of gratings produced with self-aligned multiple patterning using grazing-incidence small-angle x-ray scattering

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Metadaten
Author:Mika Pflüger, R. Joseph Kline, Analia Fernández Herrero, Martin Hammerschmidt, Victor Soltwisch, Michael Krumrey
Document Type:Article
Parent Title (English):J. Micro Nanolithogr. MEMS MOEMS
Volume:19
First Page:014001
Year of first publication:2020
ArXiv Id:http://arxiv.org/abs/1910.08532
DOI:https://doi.org/10.1117/1.JMM.19.1.014001
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