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Fourier ellipsometry – an ellipsometric approach to Fourier scatterometry

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Metadaten
Author:Peter Petrik, Nitish Kumar, Miklos Fried, Bálint Fodor, György Juhász, Silvania Pereira, Sven BurgerORCiD, H. Paul Urbach
Document Type:Article
Parent Title (English):J. Eur. Opt. Soc.-Rapid
Volume:10
First Page:15002
Year of first publication:2015
DOI:https://doi.org/10.2971/jeos.2015.15002
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