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Institution name at the time of publication
Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und...
LS Experimentalphysik / Halbleiterphysik / Mikrosysteme (ehemals)
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Author
Dombrowski, Kai F.
(1)
Nuffer, Roland
(1)
Year of publication
2001
(1)
2000
(1)
Document Type
Doctoral thesis
(2)
Language
German
(1)
English
(1)
Keywords
Elastische Spannung
(1)
Raman-Spektroskopie
(1)
Siliciumbauelement
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BTU
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Querschnitts-Raster-Tunnel-Mikroskopie an Silizium-Spaltflächen
(2001)
Nuffer, Roland
Micro-Raman in vestigation of mechanical stress in Si device structures and phonons in SiGe
(2000)
Dombrowski, Kai F.
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