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The influence of line edge roughness and CD uniformity on EUV scatterometry for CD characterization of EUV masks
(2007)
Scholze, Frank
;
Laubis, Christian
;
Dersch, Uwe
;
Pomplun, Jan
;
Burger, Sven
;
Schmidt, Frank
Finite element analysis of EUV lithography
(2007)
Pomplun, Jan
;
Burger, Sven
;
Schmidt, Frank
;
Scholze, Frank
;
Laubis, Christian
;
Dersch, Uwe
Adaptive finite element method for simulation of optical nano structures
(2007)
Pomplun, Jan
;
Burger, Sven
;
Zschiedrich, Lin
;
Schmidt, Frank
FEM investigation of leaky modes in hollow core photonic crystal fibers
(2007)
Pomplun, Jan
;
Holzlöhner, Ronald
;
Burger, Sven
;
Zschiedrich, Lin
;
Schmidt, Frank
Finite element simulation of radiation losses in photonic crystal fibers
(2007)
Pomplun, Jan
;
Zschiedrich, Lin
;
Klose, Roland
;
Schmidt, Frank
;
Burger, Sven
Goal oriented adaptive finite element method for precise simulation of optical components
(2007)
Zschiedrich, Lin
;
Burger, Sven
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Pomplun, Jan
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Schmidt, Frank
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