English
Anmelden
Open Access
Startseite
Suchen
Browsen
Veröffentlichen
FAQ
Overview Statistic: PDF-Downloads (blue) and Frontdoor-Views (gray)
Schließen
Autor:innen
Alle Wörter
Mindestens ein Wort
Keines der Wörter
Titel
Alle Wörter
Mindestens ein Wort
Keines der Wörter
Weitere Person(en)
Alle Wörter
Mindestens ein Wort
Keines der Wörter
Gutachter:innen
Alle Wörter
Mindestens ein Wort
Keines der Wörter
Zusammenfassung
Alle Wörter
Mindestens ein Wort
Keines der Wörter
Volltext
Alle Wörter
Keines der Wörter
Filtern
Autor:in
Buhr, Egbert (1)
(entfernen)
Erscheinungsjahr
2011
(1)
Dokumenttyp
Artikel
(1)
Sprache
Englisch (1)
(entfernen)
Volltext vorhanden
nein
(1)
Gehört zur Bibliographie
nein
(1)
Institut
Computational Nano Optics
(1)
Numerical Mathematics
(1)
1
Treffer
1
bis
1
Export
BibTeX
CSV
RIS
XML
20
10
20
50
100
Joint Research on Scatterometry and AFM Wafer Metrology
(2011)
Bodermann, Bernd
;
Buhr, Egbert
;
Danzebrink, Hans-Ulrich
;
Bär, Markus
;
Scholze, Frank
;
Krumrey, Michael
;
Wurm, Matthias
;
Klapetek, Petr
;
Hansen, Poul-Erik
;
Korpelainen, Virpi
;
van Veghel, Marijn
;
Yacoot, Andrew
;
Siitonen, Samuli
;
El Gawhary, Omar
;
Burger, Sven
;
Saastamoinen, Toni
1
bis
1
Accept ✔
Diese Webseite verwendet technisch erforderliche Session-Cookies. Durch die weitere Nutzung der Webseite stimmen Sie diesem zu.
Unsere Datenschutzerklärung finden Sie hier.