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2018
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Solving inverse problems appearing in design and metrology of diffractive optical elements by using Bayesian optimization
(2018)
Hammerschmidt, Martin
;
Schneider, Philipp-Immanuel
;
Santiago, Xavier Garcia
;
Zschiedrich, Lin
;
Weiser, Martin
;
Burger, Sven
Quantifying parameter uncertainties in optical scatterometry using Bayesian inversion
(2017)
Hammerschmidt, Martin
;
Weiser, Martin
;
Santiago, Xavier Garcia
;
Zschiedrich, Lin
;
Bodermann, Bernd
;
Burger, Sven
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