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2014 (1)
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Dokumenttyp
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Sprache
Englisch
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Determination of line profiles on photomasks using DUV, EUV and X-ray scattering
(2014)
Scholze, Frank
;
Bodermann, Bernd
;
Burger, Sven
;
Endres, Johannes
;
Haase, Anton
;
Krumrey, Michael
;
Laubis, Christian
;
Soltwisch, Victor
;
Ullrich, Albrecht
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