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Autor:in
Hansen, Poul-Erik (3)
(entfernen)
Erscheinungsjahr
2015
(1)
2012
(1)
2011
(1)
Dokumenttyp
Konferenzbeitrag
(2)
Artikel
(1)
Sprache
Englisch
(3)
Volltext vorhanden
nein
(3)
Gehört zur Bibliographie
nein
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Computational Nano Optics
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Joint Research on Scatterometry and AFM Wafer Metrology
(2011)
Bodermann, Bernd
;
Buhr, Egbert
;
Danzebrink, Hans-Ulrich
;
Bär, Markus
;
Scholze, Frank
;
Krumrey, Michael
;
Wurm, Matthias
;
Klapetek, Petr
;
Hansen, Poul-Erik
;
Korpelainen, Virpi
;
van Veghel, Marijn
;
Yacoot, Andrew
;
Siitonen, Samuli
;
El Gawhary, Omar
;
Burger, Sven
;
Saastamoinen, Toni
First steps towards a scatterometry reference standard
(2012)
Bodermann, Bernd
;
Hansen, Poul-Erik
;
Burger, Sven
;
Henn, Mark-Alexander
;
Gross, Hermann
;
Bär, Markus
;
Scholze, Frank
;
Endres, Johannes
;
Wurm, Matthias
Scatterometry reference standards to improve tool matching and traceability in lithographical nanomanufacturing
(2015)
Agcos, Emil
;
Bodermann, Bernd
;
Burger, Sven
;
Dai, Gaoliang
;
Endres, Johannes
;
Hansen, Poul-Erik
;
Nielson, Lars
;
Madsen, Morten
;
Heidenreich, Sebastian
;
Krumrey, Michael
;
Loechel, Bernd
;
Probst, Jürgen
;
Scholze, Frank
;
Soltwisch, Victor
;
Wurm, Matthias
1
bis
3
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