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The influence of line edge roughness and CD uniformity on EUV scatterometry for CD characterization of EUV masks
(2007)
Scholze, Frank
;
Laubis, Christian
;
Dersch, Uwe
;
Pomplun, Jan
;
Burger, Sven
;
Schmidt, Frank
Evaluation of EUV scatterometry for CD characterization of EUV masks using rigorous FEM-simulation
(2008)
Scholze, Frank
;
Laubis, Christian
;
Ulm, Gerhard
;
Dersch, Uwe
;
Pomplun, Jan
;
Burger, Sven
;
Schmidt, Frank
Metrology of EUV masks by EUV-scatterometry and finite element analysis
(2008)
Pomplun, Jan
;
Burger, Sven
;
Schmidt, Frank
;
Scholze, Frank
;
Laubis, Christian
;
Dersch, Uwe
Rigorous FEM-Simulation of EUV-Masks: Influence of shape and material parameters
(2006)
Pomplun, Jan
;
Burger, Sven
;
Schmidt, Frank
;
Zschiedrich, Lin
;
Scholze, Frank
Finite element analysis of EUV lithography
(2007)
Pomplun, Jan
;
Burger, Sven
;
Schmidt, Frank
;
Scholze, Frank
;
Laubis, Christian
;
Dersch, Uwe
Investigation of 3D Patterns on EUV Masks by Means of Scatterometry and Comparison to Numerical Simulations
(2011)
Burger, Sven
;
Zschiedrich, Lin
;
Pomplun, Jan
;
Schmidt, Frank
;
Kato, Akiko
;
Laubis, Christian
;
Scholze, Frank
Joint Research on Scatterometry and AFM Wafer Metrology
(2011)
Bodermann, Bernd
;
Buhr, Egbert
;
Danzebrink, Hans-Ulrich
;
Bär, Markus
;
Scholze, Frank
;
Krumrey, Michael
;
Wurm, Matthias
;
Klapetek, Petr
;
Hansen, Poul-Erik
;
Korpelainen, Virpi
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van Veghel, Marijn
;
Yacoot, Andrew
;
Siitonen, Samuli
;
El Gawhary, Omar
;
Burger, Sven
;
Saastamoinen, Toni
First steps towards a scatterometry reference standard
(2012)
Bodermann, Bernd
;
Hansen, Poul-Erik
;
Burger, Sven
;
Henn, Mark-Alexander
;
Gross, Hermann
;
Bär, Markus
;
Scholze, Frank
;
Endres, Johannes
;
Wurm, Matthias
Analytical modeling and 3D finite element simulation of line edge roughness in scatterometry
(2012)
Kato, Akiko
;
Burger, Sven
;
Scholze, Frank
Determination of line profiles on photomasks using DUV, EUV and X-ray scattering
(2014)
Scholze, Frank
;
Bodermann, Bernd
;
Burger, Sven
;
Endres, Johannes
;
Haase, Anton
;
Krumrey, Michael
;
Laubis, Christian
;
Soltwisch, Victor
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Ullrich, Albrecht
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Wernecke, Jan
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