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2015 (1)
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Dokumenttyp
Konferenzbeitrag (1)
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Englisch
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nein
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nein
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10
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Scatterometry reference standards to improve tool matching and traceability in lithographical nanomanufacturing
(2015)
Agcos, Emil
;
Bodermann, Bernd
;
Burger, Sven
;
Dai, Gaoliang
;
Endres, Johannes
;
Hansen, Poul-Erik
;
Nielson, Lars
;
Madsen, Morten
;
Heidenreich, Sebastian
;
Krumrey, Michael
;
Loechel, Bernd
;
Probst, Jürgen
;
Scholze, Frank
;
Soltwisch, Victor
;
Wurm, Matthias
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