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Simulation method improves accuracy for optical metrology and nanooptics design

Metadaten
Verfasserangaben:Sven BurgerORCiD
Dokumentart:Artikel
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):SPIE Newsroom
Jahr der Erstveröffentlichung:2009
DOI:https://doi.org/10.1117/2.1200905.1629
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