Simulation method improves accuracy for optical metrology and nanooptics design
Verfasserangaben: | Sven BurgerORCiD |
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Dokumentart: | Artikel |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | SPIE Newsroom |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2009 |
DOI: | https://doi.org/10.1117/2.1200905.1629 |