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Domain decomposition method for electromagnetic scattering problems: application to EUV lithography

Metadaten
Author:Lin Zschiedrich, Sven BurgerORCiD, Achim Schädle, Frank Schmidt
Document Type:In Proceedings
Parent Title (English):Proceedings of the 5th International Conference on Numerical Simulation of Optoelectronic devices
First Page:55
Last Page:56
Year of first publication:2005
DOI:https://doi.org/10.1109/NUSOD.2005.1518132
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